扫描电镜的工作原理图
行业前瞻 / 2024-11-01
文章 扫描电镜是一种高分辨率的显微镜,它的工作原理图包括电子源、电子光学系统、样品台和检测系统等四个部分。电子源产生高速电子束,通过电子光学系统聚焦到样品表面,样品表面的电子反射回来,被检测系统捕捉并转化为图像。本文将从电子源、电子光学系统、样品台、检测系统、成像分辨率和应用领域六个方面详细阐述扫描电镜的工作原理图。 电子源 扫描电镜的电子源通常采用热阴极电子枪或场发射电子枪。热阴极电子枪通过加热钨丝使其发射电子,而场发射电子枪则通过加高电场使其发射电子。这些电子被加速器加速后,形成高速电子束